簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "GaN".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="鋅摻雜氮化銦鎵"


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    反應濺鍍法製備鋅摻雜氮化鎵與鋅摻雜氮化銦鎵薄膜及其特性分析
    • 材料科學與工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 李冠璋 指導教授: 郭東昊
    • 本研究成功的以RF反應式濺鍍法來製備p型Zn摻雜GaN以及Zn摻雜InGaN薄膜。實驗所需要的濺鍍靶材是將不同比例的金屬In、Ga、Zn與GaN陶瓷粉末進行混合後熱壓而成的陶金靶,製備出p型Zn摻雜…
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